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processi di nanolitografia

Enciclopedia della Scienza e della Tecnica (2008)

processi di nanolitografia Danilo De Rossi Tecnica di fabbricazione (anche detta litografia su scala nanometrica), di strutture bi- e tridimensionali aventi almeno una delle dimensioni di lunghezza [...] trovano campi ideali di applicazione nei settori delle tecnologie microelettroniche e della realizzazione di sistemi microelettromeccanici (MEMS, Micro electromechanical systems). Diversi sono i processi attraverso i quali può essere realizzata ... Leggi Tutto
CATEGORIA: FISICA ATOMICA E MOLECOLARE
Vocabolario
microrobot
microrobot (micro-robot), s. m. inv. Robot microscopico, di dimensioni piccolissime. ◆ Sciami di microrobot con le ali voleranno presto sui campi di battaglia partendo anche dalle mani dei soldati. Il loro compito sarà di effettuare la ricognizione...
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