Microtecnologie
Augusto Di Napoli
Le m. rappresentano un settore tecnologico, profondamente interdisciplinare, che si occupa della progettazione e della realizzazione di dispositivi meccanici ed elettrici [...] tav. t.f.
bibliografia
W. Yun, R. Howe, P. Gray, Surface micromachined, digitally force balanced accelerometer with integrated CMOS detection circuitry, in Proceedings of IEEE solid state sensor and actuator workshop 92, 1992.
J. Bryzek, K. Petersen ...
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Dispositivo in grado di rilevare una grandezza, interagendo con essa, ricevendone energia e modificando il proprio stato, cioè variando una sua proprietà (la sua lunghezza, la sua resistenza elettrica [...] estremamente limitato. Nel settore industriale, s. di temperatura senza contatto vengono realizzati utilizzando tecniche CMOS (complementary MOSFET): è così possibile ottenere termopile (s. termoelettrici che sfruttano la radiazione infrarossa ...
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