MEMS

MEMS

– Sigla di Micro electro-mechanical systems. Insieme di dispositivi di vario genere integrati in configurazione altamente miniaturizzata su uno stesso substrato di silicio, in modo da coniugare le proprietà elettriche con quelle optomeccaniche. Le nuove tecnologie microelettromeccaniche sono in grado di realizzare e integrare in un unico sistema strutture micromeccaniche tridimensionali (masse mobili, strutture a sbalzo, membrane, ecc.) e i circuiti elettronici per il condizionamento e l’elaborazione dei segnali. L’aspetto notevole di questi dispositivi (accelerometri, giroscopi, sensori di pressione e così via), che mostrano un rapporto tra costo e prestazioni irraggiungibile con le tecnologie tradizionali, è legato al fatto che essi sono realizzati in silicio – lo stesso materiale utilizzato per produrre i circuiti integrati o le memorie – con processi tecnologici non particolarmente spinti e con litografie dell’ordine del micron (μm). Un ambito di grande interesse è associato allo sviluppo di matrici di microspecchi esagonali con dimensioni micrometriche capaci sia di inclinarsi su due assi ortogonali, sia di effettuare un movimento a pistone di circa 10 μm. Sono evidenti le rilevanti possibilità che un tale sistema offre per controllare con estrema precisione la forma del fronte d’onda riflesso posizionando opportunamente i singoli microspecchi. In particolare, si ottiene un sistema estremamente versatile ai fini delle applicazioni in ottica adattiva (per es. in astronomia, nella sicurezza, nella ricognizione militare, nella medicina).